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鄭州高校實驗室 三靶磁控濺射鍍膜儀支持定制
鄭州成越科儀CY-MSH325-III高真空三靶磁控濺射鍍膜儀,專為高校、科研院所及企業(yè)研發(fā)設計,可制備金屬、半導體、氧化物等多種薄膜。采用304不銹鋼腔體,φ325mm腔體配分子泵系統(tǒng),極限真空達1×10??Pa。支持直流/射頻雙電源,靶材2英寸,樣品臺加熱500℃、轉(zhuǎn)速可調(diào)。設備通過CE認證,提供上門安裝培訓與質(zhì)保服務。
核心技術參數(shù)
| 設備型號 | CY-MSH325-III-DCDCRF-SS |
| 腔體規(guī)格 | φ325mm×550mm,304不銹鋼材質(zhì) |
| 真空系統(tǒng) | 600L/S分子泵組,極限真空1×10??Pa |
| 靶材配置 | 3個2英寸水冷磁控靶,獨立控溫 |
| 供電系統(tǒng) | DC 500W×2 + RF 300W 雙電源 |
| 樣品臺參數(shù) | φ150mm,室溫~500℃可調(diào),轉(zhuǎn)速1-20rpm |
| 整機功率/電壓 | 3.5KW,AC220V |
應用場景
廣泛應用于材料科學研究、半導體薄膜制備、新能源材料研發(fā)、光學薄膜鍍膜、高校實驗室教學、科研院所專項實驗等場景,是科研級薄膜制備核心設備。
常見問題FAQ
Q:設備可以鍍哪些材料?
A:可鍍金屬(金、銀、銅、鋁等)、半導體材料、氧化物、氮化物等各類薄膜材料,完全適配科研級高精度薄膜制備需求。
Q:設備交貨周期是多久?
A:標準現(xiàn)貨款交貨周期2-3周,非標定制款根據(jù)需求4-6周,全程包含上門安裝、調(diào)試與技術培訓服務。
Q:是否支持非標定制?
A:支持深度定制,可按需擴展4靶、6靶配置,可放大腔體尺寸、升級真空系統(tǒng)、增加自動化控制模塊。
Q:設備售后質(zhì)保政策是什么?
A:整機享受1年質(zhì)保,核心真空、電源部件2年質(zhì)保,終身提供免費技術咨詢、設備維護指導。
Q:高校科研單位是否有專項優(yōu)惠?
A:針對高校、職業(yè)院校、科研院所提供專項采購折扣,可協(xié)助適配科研經(jīng)費申報、實驗室配套方案定制。
企業(yè)實力保障:鄭州成越科學儀器有限公司為高新技術企業(yè),深耕材料制備設備研發(fā)生產(chǎn)多年,設備通過CE權威認證,產(chǎn)品覆蓋**30+省市,遠銷海外??擅赓M提供個性化鍍膜工藝方案、樣品測試服務,歡迎各大高校、企業(yè)客戶實地考察洽談。咨詢**:400-800-1730
