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鄭州勻膠機(jī)半導(dǎo)體薄膜旋涂儀 可真空吸附定制
鄭州成越科學(xué)儀器CY-SPC系列高精度勻膠機(jī)（旋涂儀）專為高校實(shí)驗(yàn)室、科研院所及半導(dǎo)體研發(fā)使用，采用無刷電機(jī)驅(qū)動，轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)，配備真空吸附平臺，可穩(wěn)定完成光刻膠、氧化物薄膜、高分子涂層的旋涂制備。設(shè)備內(nèi)置多段程序，轉(zhuǎn)速區(qū)間0–10000rpm，旋涂均勻性高，腔體耐腐蝕，支持基片尺寸定制，整機(jī)自帶負(fù)壓系統(tǒng)，提供上門安裝與技術(shù)培訓(xùn)。
核心技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備型號 | CY-SPC100 |
| 驅(qū)動電機(jī) | 直流無刷電機(jī)，運(yùn)行平穩(wěn)無抖動 |
| 轉(zhuǎn)速范圍 | 0～10000 rpm，精度±1 rpm |
| 程序段數(shù) | 10段程序可編輯，分段控速控時(shí) |
| 基片平臺 | 真空吸附吸盤，適配10mm~8英寸基片 |
| 旋涂均勻性 | ≤±3% |
| 整機(jī)電源 | AC220V 50Hz |
應(yīng)用場景
廣泛用于半導(dǎo)體晶圓光刻工藝、微納加工、高分子薄膜、溶膠凝膠涂層、光電材料、玻璃基片鍍膜、高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所微加工平臺。
常見問題FAQ
Q：這款旋涂儀可以適配多大尺寸樣品？
A：標(biāo)配支持10mm小片到6英寸晶圓，可定制升級8英寸真空吸盤。
Q：能不能設(shè)置多段變速旋涂程序？
A：支持10段速度與時(shí)間自由編輯，預(yù)鋪膠+高速勻膠分段運(yùn)行。
Q：是否自帶真空泵？
A：整機(jī)集成負(fù)壓真空系統(tǒng)，開箱即可使用，無需額外選配真空泵。
Q：腔體耐酸堿腐蝕嗎？
A：腔體采用防腐工程塑料，可耐受光刻膠、有機(jī)溶劑長期揮發(fā)腐蝕。
Q：售后質(zhì)保與交貨周期？
A：標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型現(xiàn)貨，交貨7~10天，整機(jī)質(zhì)保一年，終身提供工藝技術(shù)支持。
Q：可以做非標(biāo)自動化勻膠設(shè)備嗎？
A：支持全自動進(jìn)料、密閉腔體、防塵凈化款定制，可對接手套箱使用。
企業(yè)實(shí)力保障：鄭州成越科學(xué)儀器有限公司，專注真空薄膜與微納加工設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)，勻膠機(jī)穩(wěn)定性高、性價(jià)比高，已服務(wù)**數(shù)百所高校與新材料企業(yè)。可免費(fèi)提供旋涂工藝方案，支持試樣測試，歡迎實(shí)地考察。咨詢電話：0371-55199322
