○ 產品介紹

CY-PECVD50R-1200-Q是一款等離子增強型CVD系統。此系統由150W射頻電源、單溫區管式爐、3通道質子流量計控制系統、性能優異的真空泵組成。

○ 技術參數

結構特點	? 150W射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度   ? 3通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行**的調控
工作電源	? AC208-220V，50/60Hz ? 總功率：4KW
單溫區管式爐	? *高溫度：1100oC(< 2h) 連續工作溫度：1000℃  ? PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統  ? 輸入功率：220V，單相，功率：1.5KW ? 加熱區長度：200mm，恒溫區：100mm  ? 爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管
等離子射頻電源	? 輸出功率：0-150W可調（穩定性：±1%） ? 射頻頻率：13.56MHz(穩定性：±0.005%) ? *大反射功率：150W  ? 匹配：手動匹配 ? 射頻輸出端口：50Ω、N型 ? 噪音：＜50dB ? 冷卻: 空氣冷卻 ? 電源: 220VAC, 50/60Hz
石英管	? 高純石英管 ? 尺寸：φ50mm*1200mm L
密封法蘭	? 一對不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭）
真空泵（該部分為選配，單獨計費）	? 雙級真空泵  ? KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵
3通道質子流量計控制系統（該部分為選配，單獨計費）	? 4通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的**控制（**度：±0.02%）  ? 流量范圍:  一路: 0~100 SCCM  二路: 0~200 SCCM  三路: 1~200 SCCM  ? 電壓：220V AC 50/60Hz ? 氣體進出口配件：直徑6.35mm不銹鋼管 ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出
尺寸和重量	? 1400mm L x 600mm W x 1240mm H  ? 凈重：90kg
質保期	? 一年質保期，終生維護（石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外）
質量認證	? CE認證
使用注意事項	? 爐管內氣壓不可高于0.02MPa  ? 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥  ? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態  ? 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊  ? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃  ? 對于樣品加熱的實驗，使用時不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生。