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技術參數：
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項目 |
明細 |
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產品型號 |
CY-MSH325-II-RFDC-SS |
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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整機功率 |
3KW |
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濺射真空 |
DC:0.3Pa RF:3Pa |
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樣品臺參數
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尺寸 |
φ150mm |
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工作溫度 |
RT≤500℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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轉速 |
1-20rpm可調 |
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磁控濺射頭參數
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數量 |
2個2”磁控濺射頭 |
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冷卻方式 |
水冷，所需流速10L/min |
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水冷機規格 |
16L/min流速的循環水冷機 |
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真空腔體
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腔體尺寸 |
φ325mm X 400mm H |
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腔體材料 |
不銹鋼 |
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觀察窗口 |
φ100mm |
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開啟方式 |
上頂開式，便于更換靶材 |
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氣體流量控制器 |
4路分別通N2，Ar，O2，空氣；量程均為0-500sccm |
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真空泵 |
配有一套分子泵系統，抽速600L/S |
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膜厚儀 |
石英振動薄膜測厚儀一臺，分辨率0.10 ? |
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濺射電源 |
直流電源一臺，500W，適用于制備金屬膜 射頻電源一臺，300W，適用于非金屬鍍膜 |
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操作方式 |
CYKY自研專業級控制系統 |
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整機尺寸 |
1400mm X 750mm X 1300mm |
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整機重量 |
300kg |
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