技術(shù)參數(shù)

項目		明細
產(chǎn)品型號		CY-MSH325-III-RFRFRF-UPS-SS
供電電壓		AC220V，50Hz
整機功率		6KW
系統(tǒng)真空		≦5×10-4Pa
樣品臺	外形尺寸	φ150mm
	加熱溫度	≦700℃
	控溫精度	±1℃
	可調(diào)轉(zhuǎn)速	≦40rpm
磁控靶槍	靶材尺寸	直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm
	冷卻模式	循環(huán)水冷
	水流大小	不小于10L/Min
真空腔體	腔體尺寸	直徑φ325mm，高度385mm
	腔體材質(zhì)	SUU304不銹鋼
	觀察窗口	直徑φ100mm
	開啟方式	頂開式
氣體控制		1路質(zhì)量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM
真空系統(tǒng)		配分子泵系統(tǒng)1套，氣體抽速600L/S
膜厚測量		可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ?
濺射電源		配射頻濺射電源,功率500W*3
控制系統(tǒng)		CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)
UPS		20KVA 16KW，延遲1小時 16節(jié)電池，容量38AH
設(shè)備尺寸		1090mm×900mm×1250mm
設(shè)備重量		350kg